IC晶片圖像採集系統

   

IcImagePicker
光學顯微圖像採集工具

能夠高效的完成0.25u以上的大規模IC晶片的光學顯微圖像採集及尺寸測量

 

 

SemPicker
電子顯微圖像採集工具

能夠高效的完成0.18u以下大規模IC晶片的電子顯微圖像採集及尺寸測量

 

IcImageFitting
圖像拼接對準工具

提供了海量IC晶片圖像的同層無縫拼接、異層精確對準及圖像打包的功能

主要功能   主要功能   主要功能
  • 手動拍照:良好的人機交互,一鍵採集
  • 自動拍照:自動計算焦点,完成採集
  • 高靈活性的採集方式
  • 量化移動圖像,精准移動圖像
  • 自動計算行列數,獲取採集張數
  • 行列定位,快速定位單張圖像
  • 自動曝光及白平衡,快速對焦
 
  • 自動聚焦拍照,不需要人工干預完成採集
  • 指定採集區域,提升採集的靈活性
  • 量化移動圖像,精准移動圖像
  • 自動計算行列數,獲取採集張數
  • 行列定位,快速定位單張圖像
  • 自動曝光及白平衡,快速對焦
 
  • 支援同層自動拼接、優化拼接、自動糾偏及異層自動對準
  • 支援圖像的旋轉、縮放及多視窗顯示
  • 支援整圖導出及區域導出,提高導出的靈活性
  • 專業友好的人機交互介面
  • 支援JPG、BMP、GIF、PNG等常用圖像格式
  • 支援數百G的圖像容量
  • 拼接誤差:半個孔以內
         
技術規格   技術規格    
  • 圖像解析度:2556×1916*
  • 圖像存儲格式:JPEG
  • 測量尺寸精度:0.001mm
  • 平均拍照速率:3秒/張
  • 日均採集量:5000張以上
  • 支持Stage: Leica INM100,DM4000-6000, Prior
  • 支持CCD:QImaging, Pixera
 
  • 圖像解析度:5120×3840*
  • 圖像存儲格式:JPEG
  • 測量尺寸精度:0.001um
  • 平均拍照速率:26秒/張
  • 日均採集量:5000張以上
  • NOVA Nano SEM