IC晶片图像采集系统

IC晶片图像采集系统
 
   

IcImagePicker
光学显微图像采集工具

能够高效的完成0.25u以上的大规模IC芯片的光学显微图像采集及尺寸测量

 

 

SemPicker
电子显微图像采集工具

能够高效的完成0.18u以下大规模IC芯片的电子显微图像采集及尺寸测量

 

IcImageFitting
图像拼接对准工具

提供了海量IC芯片图像的同层无缝拼接丶异层精确对准及图像打包的功能

主要功能   主要功能   主要功能
  • 手动拍照:良好的人机交互,一键采集
  • 自动拍照:自动计算焦点,完成采集
  • 高灵活性的采集方式
  • 量化移动图像,精准移动图像
  • 自动计算行列数,获取采集张数
  • 行列定位,快速定位单张图像
  • 自动曝光及白平衡,快速对焦
 
  • 自动聚焦拍照,不需要人工干预完成采集
  • 指定采集区域,提升采集的灵活性
  • 量化移动图像,精准移动图像
  • 自动计算行列数,获取采集张数
  • 行列定位,快速定位单张图像
  • 自动曝光及白平衡,快速对焦
 
  • 支持同层自动拼接丶优化拼接丶自动纠偏及异层自动对准/li>
  • 支持图像的旋转丶缩放及多窗口显示
  • 支持整图导出及区域导出,提高导出的灵活性
  • 专业友好的人机交互接口
  • 支持JPG丶BMP丶GIF丶PNG等常用图像格式
  • 支持数百G的图像容量
  • 拼接误差:半个孔以内
         
技术规格   技术规格    
  • 图像分辨率:2556×1916*
  • 图像存储格式:JPEG
  • 测量尺寸精度:0.001mm
  • 平均拍照速率:3秒/张
  • 日均采集量:5000张以上
  • 支持Stage: Leica INM100,DM4000-6000, Prior
  • 支持CCD:QImaging, Pixera
 
  • 图像分辨率:5120×3840*
  • 图像存储格式:JPEG
  • 测量尺寸精度:0.001um
  • 平均拍照速率:26秒/张
  • 日均采集量:5000张以上
  • NOVA Nano SEM